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SUNX晶圓定位傳感器系列一覽

  • 產品型號:HD-T1030
  • 更新時間:2025-03-24

簡要描述:SUNX晶圓定位傳感器系列一覽
反應時間0.5ms以下(8V/ms以上)
分辨率30μm(注2)
直線性±1.0%F.S.(檢測位置的檢測寬度28mm)(注3)
溫度特性±0.1%F.S./℃(24±2℃) (注3)

產品詳情

SUNX晶圓定位傳感器系列一覽

 結構特點:

雖然使用紅色LED作為光源,但仍然具有激光傳感器同樣的高,因此可實現高精度檢測。

無需光軸調整

投、受光部一體型,無需繁瑣的光軸調整。并且,檢測距離及檢測寬度可以覆蓋30mm的廣闊區域,可對應各種不同尺寸的晶圓。

配備系數和偏移量調整功能

模擬輸出(1~5V)除了系數調整功能之外,還具備方便的偏移調整功能,可在±0.5V的范圍內轉換模擬電壓。

使用安全的紅色LED作為光源,無需任何繁雜的安全措施。

無需使用激光時*的保護罩,在美國使用時不需要符合FDA標準。

使用ONE SHOT連接器將檢測頭與控制器連接。配線工時降低限度,維護輕松。

低消耗電流70mA以下

檢測頭和控制器的總消耗電流為70mA以下。實現光電傳感器同等的低功耗。

適用控制器 HD-T1C

檢測寬度 30mm(直線性按照28mm的寬度規定)

檢測距離 30mm(固定)(注2)

效果圖:




保護構造IP40(IEC)
使用環境溫度0~+40℃(注意不可結露),存儲時:-20~+55℃
使用環境濕度35~85%RH、存儲時:35~85%RH
使用環境照明度白熾燈:受光面照明度3,000lx以下、熒光燈:受光面照明度3,000lx以下
耐電壓AC1,000V 1分鐘 所有電源連接端子與外殼之間
緣電阻所有電源連接端子與外殼之間,20MΩ以上,基于DC250V的高阻表
耐振動頻率10~150Hz 雙振幅0.75mm X,Y和Z方向各2小時
耐沖擊加速度490m/s2(約50G) X,Y和Z方向各3次

SUNX晶圓定位傳感器系列一覽

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