海德漢HEIDENHAIN光柵尺LS-187C長1840mm

海德漢HEIDENHAIN光柵尺LS-187C長1840mm

技術參數

測量標準 DIADUR刻線的玻璃光柵尺

熱膨脹系數 αtherm ≈ 8 x 10-6 K-1

精度等級 ±  5 µm

測量長度（ML），mm 1440

參考點 每50 mm可用磁條選擇，標準設置：中心處1個參考點

增量信號 1 VSS

柵距 20 µm

信號周期 4 µm

截止頻率  -3dB ≥ 160 kHz

測量步距 0,5 µm

高運動速度 120 m/min

電源 5 V ± 5 %/< 120 mA (without load)

電氣連接 獨立適配電纜，可連接安裝塊

大電纜長度 100 m

要求的移動力 ≤ 4 N

振動  55至2000 Hz ≤ 200 m/s2 (IEC 60068-2-6)

沖擊（11 ms） ≤ 400 m/s2 (IEC 60068-2-27)

加速度 ≤ 60 m/s2 測量方向上

工作溫度 0至  50 °C

防護等級  IEC 60529

IP 53如果符合安裝說明要求

IP 64 如果通過DA 300提供壓縮空氣

重量 0.4 kg + 2.3 kg/m測量長度

型號

heidenhain 358699-28 RON 285 9000 03S12-03 K 編碼器

heidenhain ID:376886-A6 編碼器

heidenhain 572249-16 光柵尺

heidenhain ROQ 425 512 631703-07 編碼器

放大作用

         在兩光柵柵線夾角較小的情況下，莫爾條紋寬度W和光柵柵距ω、柵線角θ之間有下列關系。式中，θ的單位為rad，W的單位為mm。由于傾角很小，sinθ很小，則

W=ω /θ

若ω =0．01mm，θ=0.01rad，則上式可得W=1，即光柵放大了100倍。

(3)均化誤差作用

莫爾條紋是由若干光柵條紋共用形成，例如每毫米100線的光柵，10mm寬度的莫爾條紋就有1000條線紋，這樣柵距之間的相鄰誤差就被平均化了，消除了由于柵距不均勻、斷裂等造成的誤差。

檢測與數據處理

電子細分與判向法

光柵測量位移的實質是以光柵柵距為一把標準尺子對位稱量進行測量。高分辨率的光柵尺一般造價較貴，且制造困難。為了提高系統分辨率，需要對莫爾條紋進行細分，光柵尺傳感器系統多采用電子細分方法。當兩塊光柵以微小傾角重疊時，在與光柵刻線大致垂直的方向上就會產生莫爾條紋，隨著光柵的移動，莫爾條紋也隨之上下移動。這樣就把對光柵柵距的測量轉換為對莫爾條紋個數的測量。

海德漢HEIDENHAIN光柵尺LS-187C長1840mm