晶圓定位傳感器

晶圓定位傳感器,SUNX傳感器安裝說明
因此，受晶圓厚度和反射光量的影響較小。
基于2段受光元件的高精度位置檢測(cè)
可從四個(gè)方向引出電纜
傳感器可以從正前方、右側(cè)、左側(cè)、下方四個(gè)方向引出電纜。
 

晶圓定位傳感器,SUNX傳感器安裝說明
M-DW1以反射光的位置來檢測(cè)，不管反射光量的多少都能檢測(cè)出玻璃晶圓。
亦可檢測(cè)玻璃晶圓
可檢測(cè)涂氮晶圓
氮化膜具有可吸收特定波長光的性質(zhì)，吸收的波長因氮化膜的厚度而不同。
因此，對(duì)于使用單波長激光的傳感器，可能會(huì)因光全被吸收而無法檢測(cè)。
而LED光源的光具有一定波長段，即使氮化膜晶圓也可準(zhǔn)確檢測(cè)。
0.5ms的高速反應(yīng)
實(shí)現(xiàn)0.5ms的高速反應(yīng)。兼顧高速反應(yīng)性和高精度。測(cè)量距離 45mm
檢測(cè)物體 3英寸以上的半導(dǎo)體晶圓(注2)
可對(duì)應(yīng)檢測(cè)面 有受光方向反射面的端面形狀的檢測(cè)面(注3)
檢測(cè)角度 12.5±5°(注4)
晶圓間距 間距3mm以上時(shí)，可按通常靈敏度進(jìn)行分離檢測(cè)(注5)
適用晶圓盒 SEMI規(guī)格FOUP晶圓盒/開放式晶圓盒
電源電壓 12?24V DC±10%　脈動(dòng)P-P10%以下
基于2段受光元件的高精度位置檢測(cè)
利用反射光量檢測(cè)時(shí)，反射光量和晶圓的邊緣形狀會(huì)影響檢測(cè)結(jié)果。
內(nèi)置放大器的小巧、輕盈型
尺寸為寬度80.6mm×厚度18.3mm×進(jìn)深50mm，約為75g的小巧、輕盈型。
M-DW1的受光部使用2段受光元件，通過反射光位置而非反射光量進(jìn)行檢測(cè)。

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